首先，超純水在半導(dǎo)體制造工藝中用于晶圓漂洗、化學(xué)稀釋、化學(xué)機(jī)械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的成品率，隨著半導(dǎo)體元件尺寸的縮小和細(xì)度的提高，對(duì)超純水質(zhì)量的技術(shù)要求也在不斷提高。任何微小的微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的指標(biāo)差異都可能導(dǎo)致半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。
其次，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)水資源的需求量大，且對(duì)水質(zhì)的要求極高。隨著芯片制程的提高，清洗步驟也相應(yīng)增多，用水量會(huì)呈指數(shù)級(jí)提升。因此，半導(dǎo)體企業(yè)需要通過技術(shù)創(chuàng)新以及與優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商合作等方式來提升水資源利用效率，解決水資源爭(zhēng)奪問題。許多半導(dǎo)體企業(yè)積極尋求與擁有先進(jìn)循環(huán)再生解決方案的超純水企業(yè)合作，進(jìn)行綠色水系統(tǒng)創(chuàng)新，以提升水資源利用率，降低運(yùn)行成本，保障水資源安全。
最后，超純水設(shè)備的性能指標(biāo)包括水質(zhì)純度、水流量、水質(zhì)穩(wěn)定性以及設(shè)備維護(hù)等，都是保證半導(dǎo)體生產(chǎn)過程順利進(jìn)行的重要因素。設(shè)備的性能直接影響超純水的質(zhì)量，進(jìn)而影響半導(dǎo)體的生產(chǎn)效率和成品率。
綜上所述，半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過程中確實(shí)需要使用超純水設(shè)備，以確保生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。